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    半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的基本要求

    發(fā)布時(shí)間： 2025-03-24　　點(diǎn)擊次數(shù)： 88次



    半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)要求涵蓋環(huán)境控制、設(shè)備系統(tǒng)、材料結(jié)構(gòu)及管理規(guī)范等多個(gè)方面，博泰小編帶大家了解相關(guān)知識(shí)。


    一、空間布局與分區(qū)


    1、?氣流設(shè)計(jì)?采用層流模式，空氣從潔凈區(qū)向低潔凈區(qū)單向流動(dòng)，避免污染擴(kuò)散。


    2、?功能分區(qū)?劃分為潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)及輔助區(qū)，實(shí)現(xiàn)人流/物流分離。設(shè)備間大于等于1.5米，避免交叉污染。


    二、設(shè)備與材料要求


    1、?凈化系統(tǒng)?

    配置高效過濾器， 空調(diào)系統(tǒng)需滿足溫濕度與潔凈度雙重控制需求。


    2、?特種系統(tǒng)?

    超純水、超純氣體及防泄漏管道系統(tǒng)，廢氣處理系統(tǒng)與應(yīng)急設(shè)施。


    3、?材料選擇?墻面/頂板采用50mm厚夾芯彩鋼板等防塵材料，地面需耐腐蝕、抗靜電。


    三、管理與安全規(guī)范


    1、?人員管理?

    進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室要穿戴潔凈服、手套、頭罩等防護(hù)裝備，禁止攜帶外部物品，實(shí)驗(yàn)后需清理工作臺(tái)并登記儀器使用情況。


    2、?危險(xiǎn)品操作?

    應(yīng)該要嚴(yán)格規(guī)范易燃、有毒化學(xué)品的使用流程，廢棄物按標(biāo)準(zhǔn)處理。設(shè)置緊急停機(jī)按鈕與消防設(shè)備，確保操作安全。


    五、其他要求

    建筑需具備承重、抗震性能，采用耐火材料。 照明≥300LX，新風(fēng)補(bǔ)充量占總送風(fēng)量的10%-30%。




    半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的基本要求